西安超精密气浮转台厂家

圆柱度、直线度、垂直度、同轴度和同心度等几何参量进行测量，并能进行相关分析。可广泛用于航空航天、船舶、国防、汽车、轴承等各类精密装备***造领域。基准型圆柱度测量仪可用于计量部门，开展圆柱度量值的传递与溯源工作仪器特色：超精密气浮回转基准主轴精度是圆柱度仪回转基准的重要指标。经过优化设计的圆柱度仪的空气静压轴系采用本所专利技术，经特殊加工工艺研制，因此保证了仪器主轴具有超精密级的轴向与径向回转精度(0.015~0.05μm)、角回转精度(0.02~0.1″)和高承载与高刚度兼顾性能，保障了仪器具有高可靠性和长久的使用寿命。

西安超精密气浮转台厂家

因此，高端通用试验仪器设备。将集中力量，重点突破一批我国需求量大、严重依赖进口、价格昂贵的试验仪器设备，攻克若干试验仪器设备核心技术和关键部件，带动重要领域试验仪器设备整体水平提升，打破国外垄断。第二，前沿重大试验仪器设备。将依据我国在世界新一轮科技革命中的战略部署，研发若干具有国际领先水平的重大试验仪器设备，有效支撑我国开展世界一流科学研究、有特色科学研究，带动高新技术产业发展。

西安超精密气浮转台厂家

超精密气浮直线基准圆柱度和直线度的测量，不仅要求仪器主轴的回转基准精度高，直线运动基准的精度要求也非常高。经过优化设计的圆柱度仪导轨结构，提供了极高的直线运动精度(0.05~0.1μm/100mm)，在整体结构上进行了精心设计，保障了仪器整体具有非常高的结构稳定性。稳定的花岗岩基座圆柱度仪的基座采用天然花岗岩材质，经过亿万年老化沉积，花岗岩材质质地均匀，强度高，应力变形小，对温度敏感性小。经过精加工保证各零、部件的机械位置，基座具有优良的稳定性和刚度。

西安超精密气浮转台厂家

其原理如图所示。写入激光经过调制稳光、准直扩束后，平行入射到DMD上，被其调制编码、分束成独立的光阵列;再经4ƒ空间滤波系统滤波后，被微光学阵列中相匹配的子镜聚焦到涂有光刻胶的基底平台上，从而实现写入曝光;在写入光被调制的同时，基底平台作光栅或回转扫描，实现微阵列和微结构光学器件的曝光制作。科学意义及应用价值：利用微光学阵列替换传统的直写物镜，实现多光路并行同步写入，有效提高了写入效率;同时由于微光学透镜与传统物镜相比，像差小、制作容易、易获得大数值孔径，可极大地提高写入分辨力。