天津超精密气浮转台厂家

超精密气浮直线基准圆柱度和直线度的测量，不仅要求仪器主轴的回转基准精度高，直线运动基准的精度要求也非常高。经过优化设计的圆柱度仪导轨结构，提供了极高的直线运动精度(0.05~0.1μm/100mm)，在整体结构上进行了精心设计，保障了仪器整体具有非常高的结构稳定性。稳定的花岗岩基座圆柱度仪的基座采用天然花岗岩材质，经过亿万年老化沉积，花岗岩材质质地均匀，强度高，应力变形小，对温度敏感性小。经过精加工保证各零、部件的机械位置，基座具有优良的稳定性和刚度。

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在保证焦斑质量的同时，可获得大的曝光区域;引入光强宏微双重调制装置，提高了曝光光强的调制分辨力，从而解决控制轮廓精度的问题;通过空间光调制器依据像素部对写入激光分束，解决了多光路并行同步直写光束的控制问题。该技术特别适用于微阵列和微结构光学器件制作，具有大范围、高精度激光写入的优点。研究目的：研究一种基于多个子孔径干涉拼接的全域非球面超精密测量技术，解决干涉仪测量范围受限和分辨率受限问题，实现局部变化较大的凸凹面深度非球面面型的高精度测量。

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李力一行还考察了可调谐(气体)激光重点实验室，听取了实验室主要研究方向、研究内容介绍。李力肯定了项目进展情况，并鼓励科研人员努力工作，确保项目顺利完成。为做好国家首批国家重大科学仪器开发专项项目验收工作，6月26日至27日，科技部科研条件与财务司副司长吴学梯、工业和信息化部科技司副司长李力先后来我公司考察，了解我公司的国家重大科学仪器设备开发专项项目。工业和信息化部、省工信委相关领导，我公司董事长等参加现场考察。

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HUE--D1331系列超精密气浮导轨主要用于高精度测量仪器、光学检测仪器、精密/超精密光机电一体化装备、精密/超精密机床等先进装备制造领域，是精密/超精密仪器与制造装备中保证高精度直线运动导向和定位的关键部件。HHUE--D1331气浮导轨已成系列，其有效行程从50mm至3000mm截面尺寸主要从50mm×50mm至250mm×350mm(见表2);该系列气浮导轨具有优异的直线运动精度和良好的刚度，直线运动误差小于0.03μm~0.1μm/50mm，0.05μm~0.2μm/100mm等。特殊需求可单独设计。