河北超精密气浮转台公司

其原理如图所示。写入激光经过调制稳光、准直扩束后，平行入射到DMD上，被其调制编码、分束成独立的光阵列;再经4ƒ空间滤波系统滤波后，被微光学阵列中相匹配的子镜聚焦到涂有光刻胶的基底平台上，从而实现写入曝光;在写入光被调制的同时，基底平台作光栅或回转扫描，实现微阵列和微结构光学器件的曝光制作。科学意义及应用价值：利用微光学阵列替换传统的直写物镜，实现多光路并行同步写入，有效提高了写入效率;同时由于微光学透镜与传统物镜相比，像差小、制作容易、易获得大数值孔径，可极大地提高写入分辨力。

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HUE-G2631是哈尔滨工业大学、江南游戏（中国）官方网站联合开发的新一代大型/超大型气浮隔微振装置。本产品是超大型基础性平台设备，可用于大型/超大型精密仪器及系统、光学仪器及系统、超精密制造装备和工作母机等高端装备的加工、装调、测试与使用，在支撑大型高端和尖端超精密装备制造和使用中具有不可替代的重要作用。30余项中外发明专利技术授权国家科技重大专项推介产品在北京空间机电研究所(5 0 8所)、哈尔滨量具刃具集团等单位应用

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仪器特点和优势：我公司生产的系列圆柱度测量仪完全拥有自主知识产权，具有测量精度高、重复性好、仪器功能模块化、中文操作界面等优点，能够对精密、大型、重型及特殊形状回转体类零件的圆度、圆柱度、直线度、垂直度、同轴度和同心度等几何参量进行测量，并能进行相关分析。可广泛用于航空航天、船舶、国防、汽车、轴承等各类精密装备制造领域。基/标准型圆柱度测量仪可用于计量部门，开展圆柱度量值的传递与溯源工作，基准型圆柱度测量仪(图1)的主要技术指标详见技术参数。

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超精密制造已建成22000m2的研发及生产基地，包括1920㎡的超洁净超精密装配与测量车间，2820㎡的精密/超精密加工车间，2110㎡的精密装校车间，约2100㎡的光电系统研发生产车间;配套超洁净温度/湿度控制机组，大型超精密气浮隔微振设施，三坐标行吊车等配套设施。投资7000余万元购置德国五轴联动数控镗铣加工中心、美国摩尔坐标磨床，光学曲线磨床，精密平面磨床，立式加工中心，三坐标等大型精密/超精密加工与测量设备70余台(套)，具备了设计、研发、中试和生产大型高端超精密仪器与装备产品的能力。公司已通过GJB9001B-2009《质量管理体系》认证，以顾客为关注焦点，与客户广交朋友，不断持续改进，以顾客满意为目标。