江西航空发动机测试仪公司

超精密气浮直线基准圆柱度和直线度的测量，不仅要求仪器主轴的回转基准精度高，直线运动基准的精度要求也非常高。经过优化设计的圆柱度仪导轨结构，提供了极高的直线运动精度(0.05~0.1μm/100mm)，在整体结构上进行了精心设计，保障了仪器整体具有非常高的结构稳定性。稳定的花岗岩基座圆柱度仪的基座采用天然花岗岩材质，经过亿万年老化沉积，花岗岩材质质地均匀，强度高，应力变形小，对温度敏感性小。经过精加工保证各零、部件的机械位置，基座具有优良的稳定性和刚度。

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由于SMEE的任务要求紧张，我公司仅用了三个月的时间完成了制造任务。2017年2月初，SMEE的质量控制人员、设计人员、工艺人员在我公司进行了验收测试，历经5天的时间完成了整个测试。产品经过清洁、包装等工作，于2017年2月15日由专车运往上海。新春伊始北京大学教授、中国科学院程和平院士一行在完成了对哈工大的访问之后,于2017年2月15日,在谭久彬的陪同下到我公司参观考察。程和平院士一行听取了谭久彬教授关于公司基础能力、研发能力、生产能力、典型产品等情况的介绍，考察了极大规模集成电路制造装备及成套工艺专项、国家重大科学仪器研发专项等的研制情况。

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在保证焦斑质量的同时，可获得大的曝光区域;引入光强宏微双重调制装置，提高了曝光光强的调制分辨力，从而解决控制轮廓精度的问题;通过空间光调制器依据像素部对写入激光分束，解决了多光路并行同步直写光束的控制问题。该技术特别适用于微阵列和微结构光学器件制作，具有大范围、高精度激光写入的优点。研究目的：研究一种基于多个子孔径干涉拼接的全域非球面超精密测量技术，解决干涉仪测量范围受限和分辨率受限问题，实现局部变化较大的凸凹面深度非球面面型的高精度测量。

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李力一行还考察了可调谐(气体)激光重点实验室，听取了实验室主要研究方向、研究内容介绍。李力肯定了项目进展情况，并鼓励科研人员努力工作，确保项目顺利完成。为做好国家首批国家重大科学仪器开发专项项目验收工作，6月26日至27日，科技部科研条件与财务司副司长吴学梯、工业和信息化部科技司副司长李力先后来我公司考察，了解我公司的国家重大科学仪器设备开发专项项目。工业和信息化部、省工信委相关领导，我公司董事长等参加现场考察。