新疆超精密气浮转台公司

超精密制造已建成22000m2的研发及生产基地，包括1920㎡的超洁净超精密装配与测量车间，2820㎡的精密/超精密加工车间，2110㎡的精密装校车间，约2100㎡的光电系统研发生产车间;配套超洁净温度/湿度控制机组，大型超精密气浮隔微振设施，三坐标行吊车等配套设施。投资7000余万元购置德国五轴联动数控镗铣加工中心、美国摩尔坐标磨床，光学曲线磨床，精密平面磨床，立式加工中心，三坐标等大型精密/超精密加工与测量设备70余台(套)，具备了设计、研发、中试和生产大型高端超精密仪器与装备产品的能力。公司已通过GJB9001B-2009《质量管理体系》认证，以顾客为关注焦点，与客户广交朋友，不断持续改进，以顾客满意为目标。

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磁悬浮主轴技术，永磁、电磁和气浮结合的控制方案也一直在研究中。多孔材料的气浮轴承可以提高气浮轴承的刚度。液体静压轴承具有刚度高、动态特性好等特点，但发热是其致命的弱点，水静压轴承的研制正是针对这一问题进行的。与油静压轴承相比，这种轴承的优点是轴承发热较小，适合于高速运转，而且没有污染，特别适合硅片加工等行业。精密滚珠丝杠是超精密机床驱动采用的常规方式，但是这种方式存在许多缺点，限制了运动精度的进一步提高。为此，气浮丝杠和液体静压丝杠在一些日本研制的超精密机床上得到了应用，但是采用这种传动方式的零件加工工艺极其复杂，限制了其应用。

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超精密气浮直线基准圆柱度和直线度的测量，不仅要求仪器主轴的回转基准精度高，直线运动基准的精度要求也非常高。经过优化设计的圆柱度仪导轨结构，提供了极高的直线运动精度(0.05~0.1μm/100mm)，在整体结构上进行了精心设计，保障了仪器整体具有非常高的结构稳定性。稳定的花岗岩基座圆柱度仪的基座采用天然花岗岩材质，经过亿万年老化沉积，花岗岩材质质地均匀，强度高，应力变形小，对温度敏感性小。经过精加工保证各零、部件的机械位置，基座具有优良的稳定性和刚度。

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基本原理：干涉仪对深度非球面元件进行多次局部检测，两次测量区域之间有一定的重叠。将每两次检测重叠部分的相位值经过拟合统一到一个曲面上，这样可不断地将测量范围扩大，从而获得整个待测元件表面轮廓。拼接的理论依据是在重叠区域内，两次测量得到的波前相位值是一致的，即两次测量相位数据位于同一个曲面上。而在实际测量过程中，则需要倾斜、位移、离焦和振动干扰等误差影响，并依据一种高精度的多子孔径干涉拼接测量模型，实现全域凸凹深度非球面形状的测量与评定。

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圆柱度、直线度、垂直度、同轴度和同心度等几何参量进行测量，并能进行相关分析。可广泛用于航空航天、船舶、国防、汽车、轴承等各类精密装备***造领域。基准型圆柱度测量仪可用于计量部门，开展圆柱度量值的传递与溯源工作仪器特色：超精密气浮回转基准主轴精度是圆柱度仪回转基准的重要指标。经过优化设计的圆柱度仪的空气静压轴系采用本所专利技术，经特殊加工工艺研制，因此保证了仪器主轴具有超精密级的轴向与径向回转精度(0.015~0.05μm)、角回转精度(0.02~0.1″)和高承载与高刚度兼顾性能，保障了仪器具有高可靠性和长久的使用寿命。

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哈工大发挥师资力量和创新优势，主动作为，协同攻关，加快开展新冠肺炎防治科研工作。韩杰才介绍了中国工程院科研攻关项目“新冠病毒核酸快速检测一体化设备与试剂研发”的基本情况，该项目旨在突破现有检测技术对人员、场所的限制，通过仪器自动化与高灵敏度试剂开发，缩短检测用时，提升检测效率与准确度，实现疑似患者的快速诊断和密切接触人群的批量筛查。调研期间，张宗久对哈工大“尽快拿出用得上、有效果的科研成果”表示肯定。他说，充足的新冠病毒核酸检测能力十分重要，希望哈工大及时响应国家和人民的需要，切实发挥学科特色和优势。