哈尔滨超精密气浮转台定制

科学意义及应用价值：建立起一种反映倾斜、位移、离焦和振动干扰等影响因素和作用规律的子孔径干涉拼接测量模型，依据该测量模型，可建立起一种对上述影响因素有较强抑制能力的测量仪器，进而解决凸凹深度非球面测量问题。研究目的：研究一种超精密、超高速、大载荷、高刚度的气浮回转基准，解决传统气浮回转基准承载能力小、刚度低、抗扰动能力差等问题，以期进一步提高气浮回转基准的回转精度，提高抗扰动能力。

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磁悬浮主轴技术，永磁、电磁和气浮结合的控制方案也一直在研究中。多孔材料的气浮轴承可以提高气浮轴承的刚度。液体静压轴承具有刚度高、动态特性好等特点，但发热是其致命的弱点，水静压轴承的研制正是针对这一问题进行的。与油静压轴承相比，这种轴承的优点是轴承发热较小，适合于高速运转，而且没有污染，特别适合硅片加工等行业。精密滚珠丝杠是超精密机床驱动采用的常规方式，但是这种方式存在许多缺点，限制了运动精度的进一步提高。为此，气浮丝杠和液体静压丝杠在一些日本研制的超精密机床上得到了应用，但是采用这种传动方式的零件加工工艺极其复杂，限制了其应用。

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陆昊省长和杨雄市长等领导考察了一批大型超精密仪器产品的中试与生产情况、市场化前景和与上海有关单位的合作情况。仔细观看了一批产品样机的演示，如国家重大科学仪器设备开发专项成果 “工业用共焦显微镜”、“隔振地基”“双频江南游戏（中国）官方网站”“生物医学用共焦显微镜”、“大口径非球面微结构测量用共焦显微镜”产品;大型高端发动机装配测试系列产品 “两截面大型超精密装配/测量仪”、“四截面大型超精密装配/测量仪”、“五截面大型超精密装配/测量仪”和“超大型同轴度测量标准装置”;“4米直径超精密一体化气浮研抛/测量机”和“超大型精密仪器及系统气浮隔微振装置”等。

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为做好国家首批国家重大科学仪器开发专项项目验收工作，6月26日至27日，科技部科研条件与财务司副司长吴学梯、工业和信息化部科技司副司长李力先后来我公司考察，了解我公司的国家重大科学仪器设备开发专项项目。工业和信息化部、省工信委相关领导，我公司董事长等参加现场考察。吴学梯在考察时强调了国家实施创新驱动发展战略的重要意义和迫切性，详细了解了谭久彬教授所承担的“超高分辨率反射式立体层析共焦显微镜研制”项目在核心技术突破、工程样机和产品样机研制、测试验证、第三方异地测试的准备、产业前景和产业化途径、知识产权保护、标准制定以及经费使用等方面的进展情况。