齐齐哈尔超精密气浮转台公司

HUE--D1331系列超精密气浮导轨主要用于高精度测量仪器、光学检测仪器、精密/超精密光机电一体化装备、精密/超精密机床等先进装备制造领域，是精密/超精密仪器与制造装备中保证高精度直线运动导向和定位的关键部件。HHUE--D1331气浮导轨已成系列，其有效行程从50mm至3000mm截面尺寸主要从50mm×50mm至250mm×350mm(见表2);该系列气浮导轨具有优异的直线运动精度和良好的刚度，直线运动误差小于0.03μm~0.1μm/50mm，0.05μm~0.2μm/100mm等。特殊需求可单独设计。

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基本原理：干涉仪对深度非球面元件进行多次局部检测，两次测量区域之间有一定的重叠。将每两次检测重叠部分的相位值经过拟合统一到一个曲面上，这样可不断地将测量范围扩大，从而获得整个待测元件表面轮廓。拼接的理论依据是在重叠区域内，两次测量得到的波前相位值是一致的，即两次测量相位数据位于同一个曲面上。而在实际测量过程中，则需要倾斜、位移、离焦和振动干扰等误差影响，并依据一种高精度的多子孔径干涉拼接测量模型，实现全域凸凹深度非球面形状的测量与评定。

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该卡盘精度高、性能稳定可靠、操作方便，在航空发动机制造、装调检测和维修领域的应用中得到普遍认可。该液压卡盘传递力可在<8MPa内进行调整，对工件的重复装卡精度可达2~3μm;卡口尺寸按照用户要求设计制造。转接盘航空发动机装配专用转接盘装置，是根据发动机转子部件的结构尺寸和装配工艺而专门设计制造的，使用中将其安装在超精密气浮转台上，并将相匹配的装配件通过止口固定其上，即可进行装配、检测(如图所示)。

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适用于实验室和车间环境;电压：220V或380V交流电压，50Hz;气源：0.4MPa的过滤干燥空气;温度：20℃±5℃;湿度：<60%;其他：避免酸碱等腐蚀性气体浸蚀HUE--D1331系列超精密气浮导轨主要采用花岗岩、金属或陶瓷制作，配有精密导轨基体、气浮套和高洁净空气净化器。采用多项发明专利技术进行高精度、高刚度结构设计和气体润滑及支撑参数设计，使导轨兼有高精度、高刚度和高承载的特点;并使导轨工作状态平稳，在运动和定位状态下均无气体紊流振动、啸叫、噪声及高频微振等。控制特性分为有驱动和无驱动两种，按其需要进行驱动配置。