青岛航空发动机测试仪厂家

HUE-ZT1032系列精密/超精密单轴气浮转台主要用于高精度机械、光学零部件等几何参量和运动参量的计量检测及分系统与整机装配测试等。【规格与工作特性】台面直径范围为中200mm一中600mm，设计有T型槽或固定孔的台面形式，特殊需要可单独定做;台体承重从100kg到600kgo【结构与工作特性】HUE-ZT1032系列精密/超精密单轴气浮计量/~测量转台采用多项发明专利技术，进行超精密~高刚度结构设计和气体润滑与支承参数设计，使转台兼有很高的径向、轴向和角回转精度及高刚度特性;转台工作状态平稳，在运动和定位状态下均无气体紊流振动、啸叫、噪声及高频微振等。

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科学意义及应用价值：融合了衍射光学技术和超分辨光瞳滤波技术的各自特性，其与传统的环形透镜式共焦测量系统相比，在达到同等横向分辨力的情况下，由于整形环形光技术的采用使共焦显微镜的横向和轴向强度响应中心峰值的能量损失减小到1/(1-ε2)2倍，同时环形透镜内环边缘的衍射对测量系统造成的影响，横向分辨力优于0.2μm。本技术涉及光学扫描显微成像及微观扫描测量技术领域，可用于测量样品的三维表面形貌、三维微细结构、微台阶、微构槽、集成电路线宽等。

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李力一行还考察了可调谐(气体)激光重点实验室，听取了实验室主要研究方向、研究内容介绍。李力肯定了项目进展情况，并鼓励科研人员努力工作，确保项目顺利完成。为做好国家首批国家重大科学仪器开发专项项目验收工作，6月26日至27日，科技部科研条件与财务司副司长吴学梯、工业和信息化部科技司副司长李力先后来我公司考察，了解我公司的国家重大科学仪器设备开发专项项目。工业和信息化部、省工信委相关领导，我公司董事长等参加现场考察。

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磁悬浮主轴技术，永磁、电磁和气浮结合的控制方案也一直在研究中。多孔材料的气浮轴承可以提高气浮轴承的刚度。液体静压轴承具有刚度高、动态特性好等特点，但发热是其致命的弱点，水静压轴承的研制正是针对这一问题进行的。与油静压轴承相比，这种轴承的优点是轴承发热较小，适合于高速运转，而且没有污染，特别适合硅片加工等行业。精密滚珠丝杠是超精密机床驱动采用的常规方式，但是这种方式存在许多缺点，限制了运动精度的进一步提高。为此，气浮丝杠和液体静压丝杠在一些日本研制的超精密机床上得到了应用，但是采用这种传动方式的零件加工工艺极其复杂，限制了其应用。

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超精密制造已建成22000m2的研发及生产基地，包括1920㎡的超洁净超精密装配与测量车间，2820㎡的精密/超精密加工车间，2110㎡的精密装校车间，约2100㎡的光电系统研发生产车间;配套超洁净温度/湿度控制机组，大型超精密气浮隔微振设施，三坐标行吊车等配套设施。投资7000余万元购置德国五轴联动数控镗铣加工中心、美国摩尔坐标磨床，光学曲线磨床，精密平面磨床，立式加工中心，三坐标等大型精密/超精密加工与测量设备70余台(套)，具备了设计、研发、中试和生产大型高端超精密仪器与装备产品的能力。公司已通过GJB9001B-2009《质量管理体系》认证，以顾客为关注焦点，与客户广交朋友，不断持续改进，以顾客满意为目标。