四川航空发动机测试仪公司

磁悬浮主轴技术，永磁、电磁和气浮结合的控制方案也一直在研究中。多孔材料的气浮轴承可以提高气浮轴承的刚度。液体静压轴承具有刚度高、动态特性好等特点，但发热是其致命的弱点，水静压轴承的研制正是针对这一问题进行的。与油静压轴承相比，这种轴承的优点是轴承发热较小，适合于高速运转，而且没有污染，特别适合硅片加工等行业。精密滚珠丝杠是超精密机床驱动采用的常规方式，但是这种方式存在许多缺点，限制了运动精度的进一步提高。为此，气浮丝杠和液体静压丝杠在一些日本研制的超精密机床上得到了应用，但是采用这种传动方式的零件加工工艺极其复杂，限制了其应用。

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科学意义及应用价值：融合了衍射光学技术和超分辨光瞳滤波技术的各自特性，其与传统的环形透镜式共焦测量系统相比，在达到同等横向分辨力的情况下，由于整形环形光技术的采用使共焦显微镜的横向和轴向强度响应中心峰值的能量损失减小到1/(1-ε2)2倍，同时环形透镜内环边缘的衍射对测量系统造成的影响，横向分辨力优于0.2μm。本技术涉及光学扫描显微成像及微观扫描测量技术领域，可用于测量样品的三维表面形貌、三维微细结构、微台阶、微构槽、集成电路线宽等。

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哈工大发挥师资力量和创新优势，主动作为，协同攻关，加快开展新冠肺炎防治科研工作。韩杰才介绍了中国工程院科研攻关项目“新冠病毒核酸快速检测一体化设备与试剂研发”的基本情况，该项目旨在突破现有检测技术对人员、场所的限制，通过仪器自动化与高灵敏度试剂开发，缩短检测用时，提升检测效率与准确度，实现疑似患者的快速诊断和密切接触人群的批量筛查。调研期间，张宗久对哈工大“尽快拿出用得上、有效果的科研成果”表示肯定。他说，充足的新冠病毒核酸检测能力十分重要，希望哈工大及时响应国家和人民的需要，切实发挥学科特色和优势。

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圆柱度、直线度、垂直度、同轴度和同心度等几何参量进行测量，并能进行相关分析。可广泛用于航空航天、船舶、国防、汽车、轴承等各类精密装备***造领域。基准型圆柱度测量仪可用于计量部门，开展圆柱度量值的传递与溯源工作仪器特色：超精密气浮回转基准主轴精度是圆柱度仪回转基准的重要指标。经过优化设计的圆柱度仪的空气静压轴系采用本所专利技术，经特殊加工工艺研制，因此保证了仪器主轴具有超精密级的轴向与径向回转精度(0.015~0.05μm)、角回转精度(0.02~0.1″)和高承载与高刚度兼顾性能，保障了仪器具有高可靠性和长久的使用寿命。

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先进控制策略 高精度二维转台采用无刷直流电机驱动;结合高精度码盘构成位置闭环伺服系统，角位置定位精度可优于1角秒;并配有高稳定性数显系统本土化产品快速供应!产品核心技术和部件均来自国内，3~4个月施工完成并调试结束，无需历经严苛复杂的进出口安全与商务审批过程!专家级成套解决方案!依托本公司超精密仪器与装备工程专家团队，可提供超精密转台定制解决方案!