河南超精密气浮转台定制

该卡盘精度高、性能稳定可靠、操作方便，在航空发动机制造、装调检测和维修领域的应用中得到普遍认可。该液压卡盘传递力可在<8MPa内进行调整，对工件的重复装卡精度可达2~3μm;卡口尺寸按照用户要求设计制造。转接盘航空发动机装配专用转接盘装置，是根据发动机转子部件的结构尺寸和装配工艺而专门设计制造的，使用中将其安装在超精密气浮转台上，并将相匹配的装配件通过止口固定其上，即可进行装配、检测(如图所示)。

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磁悬浮主轴技术，永磁、电磁和气浮结合的控制方案也一直在研究中。多孔材料的气浮轴承可以提高气浮轴承的刚度。液体静压轴承具有刚度高、动态特性好等特点，但发热是其致命的弱点，水静压轴承的研制正是针对这一问题进行的。与油静压轴承相比，这种轴承的优点是轴承发热较小，适合于高速运转，而且没有污染，特别适合硅片加工等行业。精密滚珠丝杠是超精密机床驱动采用的常规方式，但是这种方式存在许多缺点，限制了运动精度的进一步提高。为此，气浮丝杠和液体静压丝杠在一些日本研制的超精密机床上得到了应用，但是采用这种传动方式的零件加工工艺极其复杂，限制了其应用。

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研究目的：研究一种多点并行曝光、且曝光面上各曝光点曝光可控及曝光强度宏微双重可调的高分辨力的激光直接写入新技术，以解决传统激光直写单点曝光制作效率低的问题，提高微阵列和微结构光学器件的制作效率。基本原理：多光斑可控并行激光直写的基本思想是以微光学镜阵列作为直写物镜，将写入激光分别聚焦为多个高分辨力写入光斑，以分散直写任务;利用数字微镜DMD控制各子光斑是否曝光，并采用声光调制器进行宏微双重调制写入光强。

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精密液压卡盘是为航空发动机精密装配测量仪研发的专用精密定位部件。其精密液压机械结构紧凑，夹紧力可控，夹紧范围和结构尺寸根据具体规格专门设计，可广泛应用于航空发动机的研发、制造和维修领域。该卡盘系机/液一体化精密机械部件，是直接装卡发动机转子轴的专用工装，靠液压传递夹紧力，靠同步柔性微变形机构实现精密定位。该卡盘分单环和双环两种，分别为不同型号发动机所用。该卡盘与超精密气浮轴系同轴安装成回转运动和装夹一体化系统，用于发动机的装配与检测。

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用途HUE-ZT1031系列大型精密／超精密单轴气浮转台主要用于大型和超大型精密机械、光学精密零部件的几何参量或部件及整机运动参量的计量检测、以及大型精密装备分系统和整机装配测试等。规格与工作特性HUE-ZT1031系列大型精密／超精密单轴气浮转台台面直径范围为①700mm～①3000，mm，设计有T型槽或固定子L的台面形式，特殊需要可单独定做；台体承重从800kg到20000kg，（技术指标见附表）。结构与工作特性HUE-ZT1031系列大型精密／超精密单轴气浮转台配置精密气浮轴系，兼有高回转精度、高刚度和高承载能力等特点。转台高精度旋转时无噪声、无振动、运动平稳。

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大型高速回转装备超精密装配测量仪由哈尔滨工业大学、江南游戏（中国）官方网站联合开发。主要用于航空发动机、舰船发动机和电站燃机机匣、转子、叶盘组件，盘、轴类零件和回转体零、部件的跳动、极值位置、同心度、圆度、平面度、垂直度和同轴度的检测，并对检测数据进行记录、存储、并建立数据库，通过计算机对误差数据进行评价和分析，得出正确的测量结果并出具测试报告。