我国在此领域的基础研究水平虽有很大提高，但在性能完备性、可靠性、与精度保持性上还有较大的差距。由于超精密机床设备技术含量高，种类多，批量小，关键部件缺乏国内配套产品支持等原因，国内超精密专用加工与检测设备与国外相比有更大的差距，阻碍了我国高新技术的发展和国防现代化发展的步伐，具体表现在以下几个方面：
（1）设备的总体性能。对于一些复杂形状的零件加工，航空发动机测试仪需要两轴以上的超精密加工设备才能完成，而国内的金刚石切削设备目前只做到了两轴。
（2）综合精度指标及稳定性。国内研制的超精密切削加工设备无论是主轴还是导轨的单项技术指标与国外商品相比已经接近，但是从设备的总体技术指标来看还有一定的差距。国内加工机床的面型精度虽然也可以达到亚微米级，但是对加工条件要求苛刻，更重要的是不能稳定地达到亚微米级的面型精度。
（3）控制系统方面。Moore公司自行开发的Delta Tau运动控制系统、Precitech公司自行开发的UPx™Control System等，都已经在各自公司生产的设备上得到了很好的应用。国内研制的超精密加工设备中的控制系统有的是自行开发的，也有的是直接引进的通用型数控系统，无论是控制系统的性能还是软件等方面都存在着较大的差距。
超精密加工技术正受到毫微米精度的挑战，还面临微机械加工的要求，传统的加工也面临不适应的局面。因此从战略上必须重视这些发展。例如在微机械的制造技术领域，微机械与微机械加工已是当前超精密加工技术延伸的一个重要方面。航空发动机测试仪与传统的机械加工有着很大差异，并逐渐成为超精密加工技术领域的一种崭新的动向，起到了推动超精密加工技术发展的作用。LIGA技术就是这种趋势典型的产物，电加工向微细加工的发展也是重要表现。由STM、AFM等组成的SPM系统已经应用到机械加工领域，超精密加工的表面质量通过这类测量仪表的计量，使加工的技术水平向更高层次发展。这些技术的发展不仅推动了微机械技术的发展，而且也促进了传统机械加工的进步。
