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气浮转台是一种什么样的设备?

2022-04-28 15:27:38

传统的气浮平台多数采用旋转电机与滚动丝杠相结合,将电机的旋转运动经由丝杠转变为与其相连的工作台的直线运动。这种驱动方式的缺点很明显,如系统传动链较长、结构复杂、摩擦较大等。另外,其承载与导向元件一般采用滑动或滚动导轨,这两类导轨在系统进行低速运动时会出现“爬行”现象,致使运动不稳定,影响系统精度。

超精密气浮转台在精密与高精密测量与制造领域,如何解决上诉问题是提高工作台性能的关键。直线电机驱动的精密运动工作台应时而生,其消除了电动机到工作台的传动环节,实现了零传动链的电机驱动方式。另外,根据部分轻载工作台的应用要求,结合导轨的优劣性能,采用气浮导轨与直线电机相结合的方式,使高速度、高加速度、高精度等技术指标的实现变得更加容易,成为了在精密运动工作台发展中的又一-突破。但是,结合国内外发展现状,我国的气浮平台技术远远落后于国外各工业大国,各种设备多靠进口,自主研发能力较弱,这种情况严重制约着我国的工业技术发展,所以,对直线伺服气浮工作台的研究意义深远。

气浮转台是利用轴承腔内空气压力导入,使转轴悬浮于空气中,并能平滑旋转,使转轴在空气中悬浮,通过轴承腔引入空气压力,使导流间隙特别小,保证转轴悬浮,从而获得较高的轴向和径向跳动误差。高速、高精度、无摩擦、无磨损、不润滑、速度稳定、无噪音。气浮转盘具有许多优点,越来越多地使用气浮式轴承来代替传统的机械轴承。


气浮转台作为一种典型的超精密机械,从诞生起就受到了人们的广泛关注,其中包括微光刻技术、数控加工、生命科技、纳米面形测量,高精密机床研发等领域,是超精密定位、探测及精确移动载体平台,为超精密加工工艺技术的研究开发拓展了一个领域,可以很好的解决高精度零件的加工、检验等问题。

对气浮转台的高压气体的流动规律、压力分布、转台精度分离方法等进行了充分掌握。制造出小孔节流型气浮转台,其影响因素:高压气膜的压力分布、气源压力、节流器直径、节流器数量、均压槽深度等,找到了优气膜刚度时的参数区间,取得了关键技术突破,使用寿命10年以上,为高精度零件的加工与检测、超精密加工工具的研制奠定了技术基础。


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