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气浮运动台使用的注意事项有哪些?

2022-10-10 14:36:44

机械转台气浮运动台作为精密设备,分为直线运动和旋转运动,在使用时注意事项:

1机械结构部分:

1.1)直线轴或旋转轴需要安装到一个平面度5μm的平台基座上。

1.2)气浮台的供气气源要是洁净的,无水无油固体颗粒小于0.2μm,压力露点-20℃,三级过滤器定期排水(因地域湿度不同,根据实际情况检查,周/月/季检查),三级过滤器要竖直安装,定期检查是否有油水的情况,如有,打开过滤器底部开关排出。

1.3)直线轴和转台负载台面在3μm以内,先用无水乙醇擦拭干净在安装工件。

1.4)机械转台安装的工件平面度3μm以内。

1.5)安装螺钉时,4角固定时要对角线上螺钉,环形固定时要也对角安装,先轻微上力,再逐步加力,参考螺钉紧固力矩标准。

1.6)转台先通气再通电,气压在0.5~0.6Mpa,关机时先断电再断气。

1.7)直线轴与转轴安装,先用无水乙醇擦干净,在安装螺钉,转接板平面度要在3μm以内,安装方法参考1.5。

气浮运动台的精度指标:

直线台:定位精度、重复定位精度、直线度、平面度、Pitch/Roll/Yaw,见下图。

机械转台

直线度:机械转台在水平方向移动时于垂直水平轴线的左右方向偏差;

平面度:(又称垂直于直线度)运动台在水平方向移动时于垂直于水平轴线上下方向的偏差;

Pitch:围绕X方向的角度误差;

Roll:围绕Y轴方向的角度误差;

Yaw:围绕Z方向的角度误差。

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