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气浮轴承转台在角度精度方面的差异有哪些?

2023-02-16 14:13:16

关于角度精确度

角度精确度可以通过配备标准较高的光栅尺来保证,取决于圆光栅的直径大小,角度精确度一般在±1~±10 arc sec的范围。如果一些特殊应用场景需要更高的角度精确度,可以通过补偿的方式来实现,例如图2的转台通过Autocollimator(自准直仪)的校准后,角度精确度可以达到<0.5arc sec。相比于机械轴承转台,机械转台气浮轴承转台在角度精度方面的差异会更小。

关于端跳和径跳

端跳是指任何旋转平台转动的时候,转台的转子台面沿着轴心上下方向的跳动。径跳是指转动的时候,转台的转子轴心向四周方面的跳动。这两个误差是任何时候任何转台转动的时候都存在,只是误差大小的区别。

机械轴承的转台,端跳和径跳一般在3~5μm的范围,个别技术领先的厂家能保证在1μm以内但可选的范围不多,下图为比利时LAB公司的机械转台的径跳测试结果,实测数据为520.9nm。

直径1000mm及以下规格已定型陆续备现货,新系列改进了隔尘方式,还可选购切屑液槽,机械转台不但应用于高精度测量,同时可以用于高精度生产。

直径1000mm以上提供订货服务,可提供大型和超大型气浮转台。

每种转台均可配花岗岩底座,可以去掉数控部分变为手动。

详细的外形尺寸和参数,请联络我公司

D400空心立卧两用(数显)气浮转台D200手动测角气浮转台D200数控转台(加高)D200数控转台

机械转台

机械转台型号:ZT-AB-D400-KX-(SX)-(H)型号:ZT-AB-D200-SD-(H)型号:ZT-AB-D200-G(-H)型号:ZT-AB-D200(-H)

外形:400*400*150外形:230*230*112外形:220*220*160外形:220*220*95

D300数控转台D400数控转台D600数控转台

型号:ZT-AB-D300(-H)型号:ZT-AB-D400(-H)型号:ZT-AB-D600(-H)

外形:320*320*116外形:430*430*145外形:608*608*187

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