超精密单轴气浮转台

一．产品简介

HUE-ZT1032系列精密/超精密单轴气浮转台主要用于高精度机械、光学零部件等几何参量和运动参量的计量检测及分系统与整机装配测试等。

二．规格与工作特性

台面直径范围为φ200mm一φ600mm，设计有T型槽或固定孔的台面形式，特殊需要可单独定做;台体承重从100kg到600kg。

三．结构与工作特性

HUE-ZT1032系列精密/超精密单轴气浮计量/~测量转台采用多项发明专利技术，进行超精密~高刚度结构设计和气体润滑与支承参数设计，使转台兼有很高的径向、轴向和角回转精度及高刚度特性;转台工作状态平稳，在运动和定位状态下均无气体紊流振动、啸叫、噪声及高频微振等。

       四．控制特性

该转台分为有驱动和无驱动两种，有驱动的控制指标可按下述数据选配。

守置误差：0.2V”

角分辨率：0.01-2”

重复性：0.1-1”

速率规范：±0.030/S±1500/S

速率波动性：0.5%～1%

五.使用条件

电压：220或380v交流电压，50Hz

气源：0.4-0.5MPa的过滤干燥空气

温度：20°C±5°c

湿度：<60%